Studien- und Abschlussarbeiten

Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme (INES)

Übersicht über die aktuellen Studien- und Abschlussarbeiten am INES

Studien- / Bachelor- / Master- und Diplomarbeiten

INES bietet in Zusammenarbeit mit dem Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) Bachelor- Master- und Doktorarbeiten an, die in der Regel in interessante Verbundforschungs- und Industrieprojekte eingebunden sind.

Masterarbeit

Arbeitsbereich: Ätzprozesse

Motivation

Siliziumcarbid (SiC) ist ein vielsprechender Kandidat für die zukünftige Hochfrequenz- und Hochleistungselektronik. Mit einer Durchbruchfeldstärke, die etwa 10x höher ist als die von Silizium ist es erstrebenswert dieses Material massentauglich zu machen. Allerdings bedarf es bei SiC, wie auch bei Si, einer Implantation des Reinsubstrats um eine gewünschte Leitfähigkeit in definierten Bereichen herzustellen. Diese gewünschten implantierten Bereiche auf einem Wafer können in SiC nicht so einfach tiefenhomogen verteilt warden, da die Diffusion der Fremdatome durch die spezifische Kristallografische Struktur von SiC blockiert wird. Um dennoch eine homogene Tiefenverteilung zu erreichen können spezielle Energiefilter eingesetzt werden, die die Energie des Ionenimplanters mittels einer strukturierten Membran so modulieren, dass die Fremdatome u.a. in einem Rechteckprofil (bzgl. Tiefe) implantiert werden können. Um die Effizienz dieser Energiefilter zu erhöhen und den Umsatz zu steigern wird die Fläche der Membran vergrößert.

Schlüsselworte

SiC Implantation, Simulation und Modellierung, Raue Umgebungen, Siliziummembran

Bewerbung über: https://jobs.ims-chips.de

Arbeitsbereich Ätzprozesse

ArbeitsbereichRF circuit design & Sensor System

Motivation

Miniaturized robots hold great potential for biomedical applications, including drug delivery, in vivo sensing and stimulation. Their small footprints allow increasing precision of surgical interventions, and minimize patient discomfort and recovery time. However, current microrobots lack of efficient miniaturized actuation and propulsion mechanisms in fluids, which severely hamper the development and wide application of microrobots. We proposed a new kind of micro-propulsion mechanism, i.e. using the acoustic streaming (a water jet) generated by a miniaturized radio-frequency resonator to delivery drug on demand underwater. The overall research goal of the RF-bot project is to develop an integrated millimeter-scale robotic system with miniaturized electronics and sensors, aiming at a useful prototype for wireless micro-pump for controlled drug delivery in the human body.

Description/ Aufgabenstellung

The specific aim of the MSc thesis work is to design and test of an RF-powering miniaturized circuit board that uses DC-power and outputs stable high-power RF signal. The detailed tasks are summarized below:

  • Literature study and get a comprehensive overview of the RF-robot system.
  • Analyze the specifications of the RF-powering circuit board and propose a suitable circuit design scheme.
  • Select proper RF components and design the miniaturized PCB.
  • In depth simulation of the circuit, including the PCB parasitic.
  • PCB manufacturing and components assembly.
  • Measurement of the designed RF-powering PCB.
  • Thesis writing and final presentation.

Bewerbung über: https://jobs.ims-chips.de

Miniaturized Signal Source for Control of Mini-Robots

Bachelor-, Studien- oder Masterarbeit

ab 01.03.2022

Motivation

Siliziumnitrid eignet sich aufgrund seiner Materialeigenschaften für viele mikround nanotechnologische Anwendungen. Unter anderem auch für die Photonik. Hier können aus abgeschiedenen Siliziumnitrid-Schichten Wellenleiterstrukturen
zur Übertragung optischer Signale im Wellenlängenbereich von 300 nm bis 3000 nm erzeugt und mit Halbleiterbauelementen verschalten werden.

Aufgabenstellung

In dieser Arbeit soll der Einfluss unterschiedlicher PECVD-Prozessparameter beim Abscheiden von Siliziumnitrid untersucht und charakterisiert werden.

Ausgehend von einer Literaturrecherche sind geeignete Versuchsreihen zu planen, durchzuführen und die erhaltenen Ergebnisse auszuwerten. Hierfür stehen Verfahren, wie die optische Mikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie,
Ellipsometrie sowie taktile Profilometrie, bereit. Ziel der Arbeit ist es, zur Photonik-Fertigung geeignete Siliziumnitrid-PECVD-Prozesse zu identifizieren und zu optimieren. Die entsprechenden Prozesse können anschließend verwendet
werden, um Photonik-Chips zu fertigen.
Der größte Teil der Arbeit findet in einem Reinraum der Klasse ISO4 statt.

 

Voraussetzungen:    

Grundkenntnisse der Mikrotechnologie, Halbleiterfertigung oder vergleichbares

Bewerbung über: https://jobs.ims-chips.de

Ausschreibng studentische Arbeit (PDF)

Bitte beachten:

Neben den hier aufgelisteten Themen bieten wir auch kurzfristig Arbeiten zu unseren aktuellen Forschungsgebieten an.

Bei Interesse nehmen Sie einfach mit Herrn Futterer Kontakt auf.

Kontakt

Dieses Bild zeigt Ehrenfried  Futterer

Ehrenfried Futterer

 

Studentische Beratung & Lehrveranstaltungen

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